超音波洗浄機セパレート型
（産業用）
WAシリーズ
製品の特長
通信機能の搭載で、日々の管理をサポート
RS485通信機能を搭載
RS485通信(MODBUS RTU)により各種設定と動作状況の確認が可能です。
周波数、出力電力の設定や発振状態の読み出しが可能となり、予防保全に活用可能です。
最適かつ安定した洗浄
デジタル制御方式による周波数自動追尾及び定電力出力により、液深・液温・液種・減圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、最適な周波数と安定した一定出力で超音波発振し、最適洗浄が可能です。
4つの発振モードにより広範囲の汚れ・ワークに対応
1.近接2周波切替発振
キャビテーションの停留を抑制し、遠方まで超音波を伝播させます。
ポンピング作用により、細管内部やスルホール基板の洗浄に適します。
2.FM発振
周波数変調による定在波位置の移動で洗浄ムラを解消します。
キャビテーション発生位置が変化するため、ワークへのダメージが軽減されます。
3.単周波発振
強力なキャビテーションが発生し、頑固な汚れの洗浄に適しています。
4.パルス発振
単周波の出力変調断続発振により、ソフトな洗浄や脱気促進に有効です。
メンテナンス性の向上
オートチューニング機能により同一仕様振動子ユニット交換時、発振器の調整が不要です。
発振器の異常発生時は、安全に超音波の発振を停止するとともに、異常発生原因を診断し、正面パネルランプの点灯パターンによって6種類の異常を識別表示します。トラブル要因が明確になり迅速な解決に有効です。
用途
●IC、トランジスタ、シリコンウェーハ、フォトマスク等の洗浄
●プリント基板、ハードディスク部品、液晶ガラス等の洗浄
●ピストン、燃料ポンプ、電装部品等の洗浄
主に、28kHzは頑固な汚れの強力洗浄に、40kHzは洗浄ムラやダメージが少ない精密洗浄に適しています。
仕様
【組み合わせ例】
発振器
| 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
|---|---|---|---|---|---|
| 発振方式 | 近接2周波切替発振（DUAL） FM発振（FM) 単周波発振（SINGLE) パルス発振（PULSE) |
||||
|
定格
出力
|
DUAL/FM | 400W | 800W | ||
| SINGLE | 600W | 1200W | |||
| PULSE | MAX 600W | MAX 1200W | |||
| 公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
| 電源入力 | AC200V,220V、230V、240Vより 選択（注文時） 単相50/60Hz 1200VA |
AC200V,220V、230V、240Vより 選択（注文時） 単相50/60Hz 2400VA |
|||
|
インターフェース
|
アナログ出力 | 4-20ｍA電流出力 | |||
| 接点出力 | 2点 アラーム出力、発振検出出力 | ||||
| 外部駆動入力 | 超音波発振 ON/OFF (接点入力) | ||||
| RS485通信 | MODBUS (RTU)プロトコル *1 | ||||
| 外形寸法 (WxDxHmm) |
336ｘ400ｘ125 （突起部は除く、ゴム足含む） |
||||
| 質量 | 6kg | ||||
●DUAL/FM周波数変調幅：中心周波数±1kHz
●出力可変範囲：20～100%
●出力表示：LEDレベルインジケーター（出力に対応）
●使用周囲環境：温度：5～40℃、湿度：5～80%（ただし結露無きこと）
●電源コード長：3.5m
●オプション品：振動子接続端子台
*1 RS485通信により各種設定と動作状況の確認が可能です。
振動子ユニット
N Type ｜ 投込タイプ
| 型式 | N06-28A | N06-40A | N12-28A | N12-40A |
| 発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T |
| 最大許容入力 | 600W | 1200W | ||
| 公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz |
| 有効輻射面 | 350ｘ200 | 420ｘ300 | ||
| 寸法 WxDxHmm （突起部を除く） |
350ｘ200ｘ100 | 350x200x75 | 420x300x100 | 420x300x75 |
| 材質 | ケース：SUS304 (特注にてSUS316L 対応可） | |||
| 質 量 | 14kg | 11kg | 18kg | 14kg |
●使用液温度範囲：5～80℃
●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長：2.5m(ブレード部 2m） + 出力コード 3.5m
F Type ｜ 振動板タイプ
| 型式 | F06-28A | F06-40A | F12-28A | F12-40A |
| 発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T |
| 最大許容入力 | 600W | 1200W | ||
| 公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz |
| 有効輻射面 | 350ｘ200 | 420ｘ300 | ||
| 寸法 WxDxHmm （突起部を除く） |
390ｘ240ｘ83 t=3㎜ |
390x240x57 t=3㎜ |
460x340x83 t=3㎜ |
460x340x57 t=3㎜ |
| 材質 | 板：SUS304（特注にてSUS316L対応可） パッキン：EPDM ｔ＝3mm（特注にてバイトン等対応可） |
|||
| 質 量 | 10kg | 8kg | 16kg | 13kg |
●使用液温度範囲：5～100℃
●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長：3.5m + 出力コード 3.5m
S Type ｜ 槽タイプ
| 型式 | S06-28A | S06-40A | S12-28A | S12-40A | |
| 発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
| 最大許容入力 | 600W | 1200W | |||
| 公称駆動周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
| 有効輻射面 | 370×250 | 500×300 | |||
|
寸法
WxDxHmm （突起部を除く） |
外形 | 422ｘ302ｘ405 (ゴム足含む） |
550ｘ350ｘ402 (ゴム足含む） |
||
| 槽内 | 370ｘ250ｘ250（23L) | 500ｘ300ｘ224（35L) *1 | |||
| 材質 | 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） | ||||
| ドレインバルブ | Rc 1/2 | Rc 3/4 | |||
| 質量 | 22kg | 19kg | 39kg | 34kg | |
■付属品：フタ
●使用液温度範囲：5～100℃
●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長：3.5m
●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T)
*1水はけを良くするために傾斜が付いています。
SH Type ｜ ヒーター付槽タイプ
| 型式 | SH06-28A | SH06-40A | SH12-28A | SH12-40A | |
| 発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
| 最大許容入力 | 600W | 1200W | |||
| 公称駆動周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
| 有効輻射面 | 370×250 | 500×300 | |||
| ヒーター | AC200V 単相 50/60Hz 2kW |
AC200V 単相 50/60Hz 3kW |
|||
|
寸法
WxDxHmm （突起部を除く） |
外形 | 580ｘ310ｘ406 (ゴム足含む） |
710ｘ360ｘ405 (ゴム足含む） |
||
| 槽内 | 370ｘ250ｘ250（23L) | 500ｘ300ｘ224（35L) *1 | |||
| 材質 | 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） | ||||
| ドレインバルブ | Rc 1/2 | Rc 3/4 | |||
| 質量 | 28kg | 25kg | 46kg | 40kg | |
■付属品：フタ
●使用液温度範囲：5～100℃
●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長：3.5m
●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T)
※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控え下さい。
※ヒーターの駆動には別途電源が必要です。
*1水はけを良くするために傾斜が付いています。
*ご要望に応じて、減圧などの特注仕様の振動子ユニットを製作いたします。
