超音波洗浄機セパレート型
(産業用)
WAシリーズ
製品の特長
通信機能の搭載で、日々の管理をサポート
RS485通信機能を搭載
RS485通信(MODBUS RTU)により各種設定と動作状況の確認が可能です。
周波数、出力電力の設定や発振状態の読み出しが可能となり、予防保全に活用可能です。
最適かつ安定した洗浄
デジタル制御方式による周波数自動追尾及び定電力出力により、液深・液温・液種・減圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、最適な周波数と安定した一定出力で超音波発振し、最適洗浄が可能です。
4つの発振モードにより広範囲の汚れ・ワークに対応
1.近接2周波切替発振
キャビテーションの停留を抑制し、遠方まで超音波を伝播させます。
ポンピング作用により、細管内部やスルホール基板の洗浄に適します。
2.FM発振
周波数変調による定在波位置の移動で洗浄ムラを解消します。
キャビテーション発生位置が変化するため、ワークへのダメージが軽減されます。
3.単周波発振
強力なキャビテーションが発生し、頑固な汚れの洗浄に適しています。
4.パルス発振
単周波の出力変調断続発振により、ソフトな洗浄や脱気促進に有効です。
メンテナンス性の向上
オートチューニング機能により同一仕様振動子ユニット交換時、発振器の調整が不要です。
発振器の異常発生時は、安全に超音波の発振を停止するとともに、異常発生原因を診断し、正面パネルランプの点灯パターンによって6種類の異常を識別表示します。トラブル要因が明確になり迅速な解決に有効です。
用途
●IC、トランジスタ、シリコンウェーハ、フォトマスク等の洗浄
●プリント基板、ハードディスク部品、液晶ガラス等の洗浄
●ピストン、燃料ポンプ、電装部品等の洗浄
主に、28kHzは頑固な汚れの強力洗浄に、40kHzは洗浄ムラやダメージが少ない精密洗浄に適しています。
仕様
【組み合わせ例】
発振器
型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
---|---|---|---|---|---|
発振方式 | 近接2周波切替発振(DUAL) FM発振(FM) 単周波発振(SINGLE) パルス発振(PULSE) |
||||
定格
出力
|
DUAL/FM | 400W | 800W | ||
SINGLE | 600W | 1200W | |||
PULSE | MAX 600W | MAX 1200W | |||
公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
電源入力 | AC200V,220V、230V、240Vより 選択(注文時) 単相50/60Hz 1200VA |
AC200V,220V、230V、240Vより 選択(注文時) 単相50/60Hz 2400VA |
|||
インターフェース
|
アナログ出力 | 4-20mA電流出力 | |||
接点出力 | 2点 アラーム出力、発振検出出力 | ||||
外部駆動入力 | 超音波発振 ON/OFF (接点入力) | ||||
RS485通信 | MODBUS (RTU)プロトコル *1 | ||||
外形寸法 (WxDxHmm) |
336x400x125 (突起部は除く、ゴム足含む) |
||||
質量 | 6kg |
●DUAL/FM周波数変調幅:中心周波数±1kHz
●出力可変範囲:20~100%
●出力表示:LEDレベルインジケーター(出力に対応)
●使用周囲環境:温度:5~40℃、湿度:5~80%(ただし結露無きこと)
●電源コード長:3.5m
●オプション品:振動子接続端子台
*1 RS485通信により各種設定と動作状況の確認が可能です。
振動子ユニット
N Type | 投込タイプ
型式 | N06-28A | N06-40A | N12-28A | N12-40A |
発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T |
最大許容入力 | 600W | 1200W | ||
公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz |
有効輻射面 | 350x200 | 420x300 | ||
寸法 WxDxHmm (突起部を除く) |
350x200x100 | 350x200x75 | 420x300x100 | 420x300x75 |
材質 | ケース:SUS304 (特注にてSUS316L 対応可) | |||
質 量 | 14kg | 11kg | 18kg | 14kg |
●使用液温度範囲:5~80℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:2.5m(ブレード部 2m) + 出力コード 3.5m
F Type | 振動板タイプ
型式 | F06-28A | F06-40A | F12-28A | F12-40A |
発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T |
最大許容入力 | 600W | 1200W | ||
公称発振周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz |
有効輻射面 | 350x200 | 420x300 | ||
寸法 WxDxHmm (突起部を除く) |
390x240x83 t=3㎜ |
390x240x57 t=3㎜ |
460x340x83 t=3㎜ |
460x340x57 t=3㎜ |
材質 | 板:SUS304(特注にてSUS316L対応可) パッキン:EPDM t=3mm(特注にてバイトン等対応可) |
|||
質 量 | 10kg | 8kg | 16kg | 13kg |
●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m + 出力コード 3.5m
S Type | 槽タイプ
型式 | S06-28A | S06-40A | S12-28A | S12-40A | |
発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
最大許容入力 | 600W | 1200W | |||
公称駆動周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
有効輻射面 | 370×250 | 500×300 | |||
寸法
WxDxHmm (突起部を除く) |
外形 | 422x302x405 (ゴム足含む) |
550x350x402 (ゴム足含む) |
||
槽内 | 370x250x250(23L) | 500x300x224(35L) *1 | |||
材質 | 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) | ||||
ドレインバルブ | Rc 1/2 | Rc 3/4 | |||
質量 | 22kg | 19kg | 39kg | 34kg |
■付属品:フタ
●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m
●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T)
*1水はけを良くするために傾斜が付いています。
SH Type | ヒーター付槽タイプ
型式 | SH06-28A | SH06-40A | SH12-28A | SH12-40A | |
発振器 型式 | WA-600-28T | WA-600-40T | WA-1200-28T | WA-1200-40T | |
最大許容入力 | 600W | 1200W | |||
公称駆動周波数 | 28kHz | 40kHz | 28kHz | 40kHz | |
有効輻射面 | 370×250 | 500×300 | |||
ヒーター | AC200V 単相 50/60Hz 2kW |
AC200V 単相 50/60Hz 3kW |
|||
寸法
WxDxHmm (突起部を除く) |
外形 | 580x310x406 (ゴム足含む) |
710x360x405 (ゴム足含む) |
||
槽内 | 370x250x250(23L) | 500x300x224(35L) *1 | |||
材質 | 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) | ||||
ドレインバルブ | Rc 1/2 | Rc 3/4 | |||
質量 | 28kg | 25kg | 46kg | 40kg |
■付属品:フタ
●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m
●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T)
※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控え下さい。
※ヒーターの駆動には別途電源が必要です。
*1水はけを良くするために傾斜が付いています。
*ご要望に応じて、減圧などの特注仕様の振動子ユニットを製作いたします。