・デジタル制御により、安定した発振が可能です。 ・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。 ・1W単位での超音波出力調整が可能です。
・磁気ヘッド洗浄 ・シリコンウェーハ洗浄 ・サファイアウェーハ洗浄 ・半導体デバイス加工後の洗浄 ・ハードディスク洗浄
●使用周囲環境：温度：5~40℃ 湿度：5~80％（ただし結露無きこと） ●電源コード長：3m
高周波利用設備許可申請の届出が必要 *1 MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。
ご要望に応じて特注振動子ユニットの製作も承ります。 ・最大許容入力：600W／1200W／1800W／2400W／3000Ｗ／3600Ｗ ・対応ウェーハ：6インチ／8インチ／12インチ
W-357BM-600F
●接液部材質：振動板：SUS316L ●使用液温度範囲：5～80℃ ●振動子：PZT
●接液部材質：振動板、槽：SUS316L パッキン：PTFE 給水／排水用ニップル：SUS304 ●使用液温度範囲：5～80℃ ●振動子：PZT
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