主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。
流水式のためパーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。枚葉処理が可能なため、生産ラインへの組込みが容易です。 用途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。
【1MHz】 W-357-1MPG 定電力発振器採用のパルスジェットタイプ洗浄機です。
【1.5MHz】 W-357-1.5MPG 1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。RS422Aにより通信が可能です。
【3MHz】 W-357-3MPG 3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、ダメージを抑えます。
【400kHz】 W-357-04PG 中周波数（400kHz）でパーティクルの除去サイズが幅広く、様々な精密洗浄に使用されています。
定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機。
水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。 振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
ノズル交換時の発振器の調整が不要 同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。
出力監視 RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。
■発振器
●出力可変範囲：0W～40W ●使用周囲環境：温度：5～40℃、湿度：10～85% ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御(制御側)接点入力：DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量：DC24V 0.5A ■付属ケーブル：電源コード（AC100Ｖ/2m 又は AC200V/3mから選択)、制御コード(5m)x4
■振動子ノズル
●使用液温度範囲：20～50℃ ●振動子：PZT ●材質：ノズル:PCTFE、PTFE、 パッキン:パーフロ、 振動板：特殊セラミックス ●給液口：適合チューブ(外径φ6) ●コード長：出力コード5m
※振動子標準ノズルを使用する場合はCE対応ができます。 お問い合わせください。
1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。
水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。 出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●使用液温度範囲：20～50℃ ●振動子：PZT ●材質：ノズル:PCTFE、PTFE、 パッキン:パーフロ、 振動板：タンタル ●給液口：適合チューブ(外径φ6) ●コード長：出力コード5m
3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、しかもダメージを抑えます。
●使用液温度範囲：20～50℃ ●振動子：PZT ●材質：ノズル:特殊セラミックス、パッキン:バイトンゴム、シリコーンゴム、振動板：特殊セラミックス ●給液口：適合チューブ(外径φ6) ●コード長：出力コード5m
パーティクルの除去サイズが幅広く様々な精密洗浄が期待できます。
●出力可変範囲：0W～80W ●使用周囲環境：温度：5～40℃、湿度：10～85% ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御(制御側) 接点入力：DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量：DC24V 0.5A ■付属ケーブル：電源コード（AC100Ｖ/2m 又は AC200V/3mから選択)、制御コード(5m)x4
●使用液温度範囲：20～50℃ ●振動子：PZT ●材質：ノズル:PP(ポリプロピレン)、特殊セラミックス、パッキン:シリコーンゴム、振動板：タンタル ●給液口：適合チューブ(外径φ13) ●コード長：出力コード5m
高周波利用設備許可申請の届出が必要
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