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超音波流量計
HLF800シリーズ

概要

DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現

超音波を利用して、流体の流速を計測し、流速から流量を計算します。
流れの上流・下流にセンサを設置し、それぞれのセンサから正方向・逆方向に発信した時の超音波伝播時間差から流速を求め、流量に換算します。

○配管内に構造物がないため、圧力損失が最小の条件で流量計測が可能です。
○低流速から高流速までの広範囲を計測できます。

特長

●DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現

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●1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能

変換器1台に2台までの検出器を接続可能なため、複数箇所の流量測定を行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。また、異なる流体の流量測定だけでなく、異なるサイズの検出器を接続することもできます。

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●表示部にはVFD表示を採用

ディスプレイにVFD( 蛍光表示管)を採用し、
視認性が優れています。【HLF820のみ】

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●高温薬液の流量計測に対応

近年の多様化した薬液・流体温度に対応。接液部は全てNEW PFAを採用し、耐薬品性に優れています。また、自社開発の振動子により、検出器は200℃までの流体温度に対応しています。(Kタイプ)
※04タイプは180℃までとなります。

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●脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易

検出部からの配線ケーブルが脱着可能であるため、装置への取り付けをしてからスムーズに配線が行えます。また、ケーブルの長さは5mと7mから選択可能です。

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●RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能

RS-485通信を標準装備。管理ソフト(HLF800 Monitor)の利用で、パラメータ設定と計測データの読み出しがPC上で行え、遠隔での流量監視が可能です。

用途

・半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
・腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
・CMP(Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定

仕様

検出器の型式

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変換器

型式 HLF810 HLF820
計測方式 超音波伝播時間差方式
データ更新周期 0.01秒
電源 電圧 DC24V ±10%(21.6~26.4V)
消費電力 約4W 約5W
表示 VFD(蛍光管)16文字x2行
デジタル入力 オープンコレクタ入力または無電圧接点入力 2点
積算値リセット、0点調整から選択
出力 4-20mA電流出力 2点
分解能:12bit(最大負荷抵抗 600Ω)
デジタル出力 オープンコレクタ出力(MAX35V/0.1A) 2点
比較、積算パルス、瞬時周波数、エラー出力から選択
インターフェース RS-485(MODBUSプロトコル、RTUモード)
32台連結可能(アドレスは1~32)
通信速度:9600、19200、38400、57600bps
ケース材質 ABS
使用周囲温度 0~50℃(結露なきこと)
質量 130g 230g
取付方法 DINレール パネル

検出器

型式 HLFS01-04 HLFS01-06
測定対象 超純水 / 純水 / 薬液
測定流量範囲 0~2L/min 0~6L/min
接続チューブサイズ 1/4″ 3/8″
精度*1 計測流量 0~800mL/min未満 800~2000mL/min 0~2000mL/min未満 2000~6000mL/min
流量精度 ±8mL/min ±1% R.D. ±20mL/min ±1% R.D.
耐圧力 0.5MPa (0~90℃) / 0.2MPa (90~200℃)
流体温度 標準 0~90℃
高温 0~180℃ 0~200℃
使用周囲温度 0~80℃
接液部材質 NEW PFA
質量 90g 110g
固有損失係数 3.7863 0.0937
型式 HLFS01-08 HLFS01-12
測定対象 超純水 / 純水 / 薬液
測定流量範囲 0~20L/min 0~50L/min
接続チューブサイズ 1/2″ 3/4″
精度*1 計測流量 0~4.3L/min未満 4.3~20L/min 0~11.8L/min未満 11.8~50L/min
流量精度 ±43mL/min ±1% R.D. ±118mL/min ±1% R.D.
耐圧力 0.5MPa (0~90℃) / 0.2MPa (90~200℃)
流体温度 標準 0~90℃
高温 0~200℃
使用周囲温度 0~80℃
接液部材質 NEW PFA
質量 130g 160g
固有損失係数 0.1146 0.0.0138
型式 HLFS01-16
測定対象 超純水 / 純水 / 薬液
測定流量範囲 1″
接続チューブサイズ 1/2″
精度*1 計測流量 0~20L/min未満 20~80L/min
流量精度 ±200mL/min ±1% R.D.
耐圧力 0.5MPa (0~60℃) / 0.2MPa (60~200℃)
流体温度 標準
高温 0~200℃
使用周囲温度 0~80℃
接液部材質 NEW PFA
質量 220g
固有損失係数 0.0033

*1 純水20℃ 弊社検査環境における繰り返し精度

各検出器の固有損失係数A(20℃の純水)
⊿P=AQ2     ⊿P:圧力損失[KPa]  A:固有損失係数  Q:流量[L/min]

変換器-検出器接続ケーブル

型式 HLFS01ケーブル 5m HLFS01ケーブル 7m
材質 ETFE
長さ 5m 7m
質量 150g 210g

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