圧電薄膜 ZnO（酸化亜鉛）
圧電薄膜 ZnO
圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させることで得られます。
特徴
スパッタ法により薄膜を形成するため100MHz以上の高周波探触子が作製可能です。
水中センサとしての応用
・作製可能周波数：100MHz以上、400MHz以下
・端面に球面レンズを設けたロッド状媒体(音響レンズ)のもう一つの端面に酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させセンサを構成します。
媒体としてはサファイアや石英を用います。
・電気信号が酸化亜鉛(ZnO)で超音波に変換され音響レンズ内に平面波が伝搬し、音響レンズ端面の球面レンズで集束ビームに変換され水中に放射されます。
基本構造
製品応用例
超音波顕微鏡用探触子
標準仕様
| 型番 | 公称周波数 (MHz) |
音響レンズ 材質 |
レンズ曲率半径 (mm) |
レンズ開口半角 (°) |
-6dB 帯域幅 (％) |
許容入力電力 (インパルスVp-p) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UPF-1.7 | 170 | サファイア | 1.0 | 30 | 30 | 20 |
| UPF-4 | 400 | サファイア | 0.6 | 60 | 30 | 16 |
◇測定条件：室温25±3℃
※受注生産品です。納期はお問い合わせください。
※カスタマイズもご相談ください。
注) 試料エコーは、レンズ端エコー(第1)とレンズ端エコー(第2)の間に出ます。
外形図
外形図(標準仕様)
単位：mm
