主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。この方式もポイントタイプと同様に、パーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。
80mmまでの液晶ガラスに対応 出力電力を10～110Ｗまで調整できます
180mmまでの液晶ガラスに対応 ノズル部にＰＰ（ポリプロピレン）を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません 出力電力を20～220Ｗまで調整できます
380mmまでの液晶ガラスに対応 ノズル部にＰＰ（ポリプロピレン）を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません 出力電力を30～330Ｗまで調整できます
580mmまでの液晶ガラスに対応 ノズル部にＰＰ（ポリプロピレン）を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません 出力電力を40～440Ｗまで調整できます
AC200～240V 単相 50/60Hz 300VA
4-20mA電流出力
3点 アラーム出力 発振検出出力 電源ON出力
MODBUS®プロトコル、RTUモード *1
●使用周囲環境：温度：5～40℃、湿度：5～80%（ただし結露無きこと） ●電源コード長：3ｍ
高周波利用設備許可申請の手続きが必要 *1 MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。
外形寸法 （W×D×Hmm）
ノズル：SUS304 パッキン：シリコーンゴム 振動板：タンタル
ノズル：PP（ポリプロピレン） パッキン：シリコーンゴム 振動板：タンタル
●使用液温範囲：20～40℃ ●振動子：PZT ●コード長：出力コード5m
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