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高周波ラインタイプ
(半導体産業用)
流水式超音波洗浄機

流水式洗浄機パルスジェットラインタイプ

主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。この方式もポイントタイプと同様に、パーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。

ラインナップ

W-357LM-80

w-357lm_80

80mmまでの液晶ガラスに対応
出力電力を10~110Wまで調整できます


W-357LM-180

w-357lm_180

180mmまでの液晶ガラスに対応
ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません
出力電力を20~220Wまで調整できます


 

W-357LM-380

w-357lm_380
 

380mmまでの液晶ガラスに対応
ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません
出力電力を30~330Wまで調整できます


W-357LM-580

w-357lm_580

580mmまでの液晶ガラスに対応
ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません
出力電力を40~440Wまで調整できます

仕様

発振器

型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580
発振モード 単周波発振
定格出力  110W 220W 330W 440W
出力可変範囲  10~110W 20~220W 30~330W 40~440W
公称発振周波数 1MHz
電源入力 

AC200~240V
単相 50/60Hz
300VA

AC200~240V
単相 50/60Hz
600VA
AC200~240V
単相 50/60Hz
750VA
AC200~240V
単相 50/60Hz
900VA
インターフェース  アナログ出力

4-20mA電流出力

接点出力

3点 アラーム出力 発振検出出力 電源ON出力

外部駆動入力 2点 センサ入力 リモート入力
RS485通信

MODBUS®プロトコル、RTUモード *1

外形寸法(ゴム足を含む)
WxDxHmm
220×360×143
質 量 5kg

●使用周囲環境:温度:5~40℃、湿度:5~80%(ただし結露無きこと)
●電源コード長:3m

高周波利用設備許可申請の手続きが必要
*1 MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。

振動子ノズル

発振器 型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580
流量 8L/min 18L/min 30L/min 45~60L/min

外形寸法
(W×D×Hmm)

113×85×40 282×182×105 482×182×105 682×182×105
吐出口寸法 95×2 194×2 400×2 600×2
有効洗浄範囲 80×2 180×2 380×2 580×2
質量 2kg 2.7kg 4.5kg 6kg
材質

ノズル:SUS304
パッキン:シリコーンゴム
振動板:タンタル

ノズル:PP(ポリプロピレン)
パッキン:シリコーンゴム
振動板:タンタル

給液口 15A(1/2B)エルボ 適合チューブ(内径φ11、外径φ13)

●使用液温範囲:20~40℃
●振動子:PZT
●コード長:出力コード5m

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